Now showing items 1-2 of 2

  • Weibye, Kristian (Master thesis / Masteroppgave, 2015)
    Tynne filmar av eit materiale som kan leie straum godt, vere kjemisk inert og spegle varmestråling godt er, i alle fall med ALD, i dag ikkje mogleg. Arbeidet i denne oppgåva har som hovudtema å undersøke om ein serie med ...
  • Napari, M; Tarvainen, O; Kinnunen, S; Arstila, K; Julin, J; Fjellvåg, Øystein Slagtern; Weibye, Kristian; Nilsen, Ola; Sajavaara, T (Journal article / Tidsskriftartikkel / SubmittedVersion, 2017)
    Two distinguishable plasma modes in the O2–N2 radio frequency capacitively coupled plasma (CCP) used in remote plasma-enhanced atomic layer deposition (PEALD) were observed. Optical emission spectroscopy and spectra ...